MEMS系统
基本信息
| 申请号 | CN202110680900.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113423050A | 公开（公告）日 | 2021-09-21 |
| 申请公布号 | CN113423050A | 申请公布日 | 2021-09-21 |
| 分类号 | H04R19/04（2006.01）I | 分类 | 电通信技术; |
| 发明人 | 周延青;潘华兵;郑泉智;胡铁刚 | 申请（专利权）人 | 杭州士兰微电子股份有限公司 |
| 代理机构 | 上海思捷知识产权代理有限公司 | 代理人 | 刘畅 |
| 地址 | 310012浙江省杭州市黄姑山路4号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供了一种MEMS系统，差分电容式MEMS传感模块接入偏置电压及预定电压，差分电容式MEMS传感模块的差分电容在外部的声音信号的激励下产生电容变化量，差分电容中的一个MEMS电容上的信号可以耦合到另一个MEMS电容上的信号一起输出，在MEMS部分完成了差分转单端的功能，体现为差分电容式MEMS传感模块输出的第一电压信号通过一个输出端输出，实现了差分电容式MEMS传感模块的单端输出，信号处理模块只对第一电压信号进行信号处理，可兼容普通的单输入的信号处理模块，无需重新设计信号处理模块。 |
