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MEMS系统

基本信息

申请号 CN202110680892.4 申请日 -
公开（公告）号 CN113395645A 公开（公告）日 2021-09-14
申请公布号 CN113395645A 申请公布日 2021-09-14
分类号 H04R19/00（2006.01）I;H04R19/04（2006.01）I 分类 电通信技术;
发明人 周延青;潘华兵;郑泉智;胡铁刚 申请（专利权）人 杭州士兰微电子股份有限公司
代理机构 上海思捷知识产权代理有限公司 代理人 刘畅
地址 310012浙江省杭州市黄姑山路4号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明提供了一种MEMS系统，电容式MEMS传感模块根据N个电容产生的电容变化量以及N路偏置电压输出表征声音信号的N路第一电压信号，N个信号处理单元分别连接差分电容式MEMS传感模块的N个输出端，接入N路第一电压信号并进行信号处理，第i个信号处理单元的输出端通过第i个述阻抗变换单元连接第i+1个电容，相当于将每个信号处理单元的输出信号耦合至下一个电容对应的偏置电压上，实现信号的叠加，通过多级级联的方式增强最后一个信号处理单元输出的第二电压信号的幅值，且并未引入其他的噪声，因此可以提高MEMS系统的信噪比，进而提高MEMS系统的性能。