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一种集成电路清洗用离子水电阻率检测装置

基本信息

申请号 CN202020293552.7 申请日 -
公开（公告）号 CN211979050U 公开（公告）日 2020-11-20
申请公布号 CN211979050U 申请公布日 2020-11-20
分类号 G01R27/22 分类 测量；测试;
发明人 李应龙 申请（专利权）人 天水天光半导体有限责任公司
代理机构 兰州锦知源专利代理事务所(普通合伙) 代理人 天水天光半导体有限责任公司
地址 741000 甘肃省天水市秦州区环城西路7号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型涉及一种集成电路生产用检测装置，具体涉及一种集成电路清洗用离子水电阻率检测装置。包括离子水排液管、检测竖管和液体介质电阻率检测仪，所述离子水排液管由依次连接的进液横管、排液竖管、排液横管组成，所述检测竖管两端分别与进液横管和排液横管的管身连通，所述检测竖管与排液横管的连通端设有阻水阀，所述液体介质电阻率检测仪的感应探头伸入检测竖管内。本实用新型在离子水排液管的管段上加装检测竖管，检测竖管对离子水进行收集并排出其内空气，最大化降低空气对离子水的影响，保证液体介质电阻率检测仪的电阻检测的准确性。