反向电压40V或60V桥式整流电路的集成制作方法
基本信息
| 申请号 | CN202010166234.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN111244037A | 公开（公告）日 | 2020-06-05 |
| 申请公布号 | CN111244037A | 申请公布日 | 2020-06-05 |
| 分类号 | H01L21/8222(2006.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 张志向;邓春茂 | 申请（专利权）人 | 天水天光半导体有限责任公司 |
| 代理机构 | 兰州锦知源专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 天水天光半导体有限责任公司 |
| 地址 | 741000甘肃省天水市秦州区环城西路7号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明是一种反向电压40V或60V桥式整流电路的集成制作方法，步骤为：a、衬底硅片清洗b、初始氧c、埋层光d、注入砷e、砷退火f、漂片g、清洗：h、初始氧化i、下隔离光刻j、注入硼，k、下隔离推结m、漂片n、清洗o、外延，P、衬底硅片清洗Q、初始氧化R、上隔离光刻T、硼扩散U、隔离扩散V、漂硼硅玻璃W、清洗X、氧化Y、N+光刻Z、清洗AA、磷扩散BB、磷再扩散CC、P+环光刻DD、硼离子注入EE、退火FF、引线孔光刻GG、清洗HH、Ni势垒金属蒸发II、硅化物形成JJ、Ni硅化物腐LL、正面金属Al蒸发MM、金属反刻。优点：采用这种工艺电路一致性好，封装体积小，封装良率高。 |
