一种单晶炉用外置式吸杂加料方法
基本信息
| 申请号 | CN202110940923.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113584573A | 公开（公告）日 | 2021-11-02 |
| 申请公布号 | CN113584573A | 申请公布日 | 2021-11-02 |
| 分类号 | C30B15/02（2006.01）I;C30B15/00（2006.01）I;C30B29/06（2006.01）I | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
| 发明人 | 陈怀斌 | 申请（专利权）人 | 江苏神汇新型陶瓷材料科技有限公司 |
| 代理机构 | 连云港润知专利代理事务所 | 代理人 | 马强 |
| 地址 | 222000江苏省连云港市东海县东经济开发区晶都大道东路938号5号厂房 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种单晶炉用外置式吸杂加料方法，使用安全壳、吸杂罐和加料器；吸杂罐用于放入安全壳对单晶炉进行吸杂操作，加料器用于放入安全壳对单晶炉进行加料操作；安全壳固定于支架上，其一端通过隔离阀与单晶炉主炉室的炉筒或炉盖连接，安全壳的另一端设置有密封盖，根据吸杂加料操作需要与外界隔离或开放；安全壳底部一侧安装有伸缩机构，伸缩机构上设置有固定吸杂罐的结构，并通过自带的轨道安装于安全壳底部，吸杂罐则安装固定在伸缩机构上，由伸缩机构带动可沿着安全壳内固定的轨道前后移动。该装方法能够对单晶炉吸杂、加料操作，既能够增加单晶炉的单炉投料量和拉棒根数，又能降低多次拉棒所引起的晶棒间的质量差异性，大大提高单晶生长质量。 |
