一种AT切型晶片±X向检测装置
基本信息
| 申请号 | CN202121276126.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN215572751U | 公开（公告）日 | 2022-01-18 |
| 申请公布号 | CN215572751U | 申请公布日 | 2022-01-18 |
| 分类号 | G01B11/26（2006.01）I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 张淼;郑玉南;徐建民;丁洁;郝建军;李永斌;崔立志;张勇;狄建兴;周志勇;杨秀霞;杨涛;杨铁生;宋学忠 | 申请（专利权）人 | 唐山国芯晶源电子有限公司 |
| 代理机构 | 石家庄冀科专利商标事务所有限公司 | 代理人 | 雷秋芬 |
| 地址 | 064100河北省唐山市玉田县鑫兴电子工业园区内 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种AT切型晶片±X向检测装置，包括工作台、旋转电机、旋转座、晶片吸附座和光纤放大器；所述工作台的台面下方布置旋转电机；旋转座布置在工作台上方，可在旋转电机驱动下实现180º旋转；所述晶片吸附座通过支撑立柱固定在旋转座上，在晶片吸附座上设有透光孔；所述光纤放大器的激光发射端通过发射架安装在工作台上，位于透光孔的下方，激光发射端发出的激光束以与晶片吸附座竖直轴线呈30°夹角方向穿过透光孔，所述激光接收端通过接收架安装在工作台上，位于透光孔上方可接收到经晶片折射的激光光束位置处。本实用新型实现了在AT切型晶片角度检测前对其±X晶向的区分，达到了提高工作效率、降低检测成本的目的。 |
