超小型加速度计
基本信息
| 申请号 | CN200510026033.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN100573155C | 公开（公告）日 | 2009-12-23 |
| 申请公布号 | CN100573155C | 申请公布日 | 2009-12-23 |
| 分类号 | G01P15/12(2006.01)I;G01P15/00(2006.01)I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 刘胜;陈斌;侯斌 | 申请（专利权）人 | 上海飞恩微电子有限公司 |
| 代理机构 | 上海市华诚律师事务所 | 代理人 | 上海飞恩微电子有限公司;武汉飞恩微电子有限公司 |
| 地址 | 201203上海市张江碧波路518号B座309室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种超小型加速度计，主要包括一个加热器，一个热气泡，热电堆和底部空腔，其特征在于所述在硅衬底上设有加热器，和热电堆，采用塞贝克效应将温差转换为电压信号，加速度信号从每个热电堆的差动电压中获取，由梁分布检验块和压敏电阻组成一个Z轴加速度计信号输出，通过引线键合的形式组装。本发明的优点是采用CMOS兼容工艺的微制造技术及玻璃料或阳极键合进行圆片级封装，加速度计具有超小型外形、三维或二维加速度信号输出，制造成本低，灵敏度高。 |
