一种真空隔热腔高温压力传感器

基本信息

申请号 2020115422891 申请日 -
公开(公告)号 CN112254872A 公开(公告)日 2021-01-22
申请公布号 CN112254872A 申请公布日 2021-01-22
分类号 G01L19/06(2006.01)I; 分类 测量;测试;
发明人 侯鸿道;崔艳凤;兰之康 申请(专利权)人 南京高华科技股份有限公司
代理机构 北京中知法苑知识产权代理有限公司 代理人 李明;赵吉阳
地址 210028江苏省南京市经济开发区栖霞大道66号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明提出一种真空隔热腔高温压力传感器,包括:引压嘴,该引压嘴的第一端与外界相连通;感压芯体,该感压芯体固定连接在所述引压嘴与所述第一端相对的第二端;第一内壳,该第一内壳固定连接所述引压嘴的第二端,形成容纳所述感压芯体的第一真空腔;第二内壳,该第二内壳固定连接所述引压嘴的第二端,形成容纳所述第一真空腔的第二真空腔;电路板,该电路板设置于所述第二真空腔中,并与所述感压芯体电连接;传感器壳体,该传感器壳体固定连接所述引压嘴的第二端,形成容纳所述第二真空腔的第三真空腔。本发明以低成本实现了对高温压力的测量,且由于传感器内部自带电路,实现传感器与电路一体化设计,可以直接输出标准电信号供后端系统使用。