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一种MEMS湿压集成传感器及制备方法

基本信息

申请号	CN202110986016.4	申请日	-
公开（公告）号	CN113428829A	公开（公告）日	2021-09-24
申请公布号	CN113428829A	申请公布日	2021-09-24
分类号	B81B3/00（2006.01）I;B81B7/02（2006.01）I;B81C1/00（2006.01）I;G01L1/14（2006.01）I;G01L9/12（2006.01）I;G01N27/22（2006.01）I;G01D21/02（2006.01）I	分类	微观结构技术〔7〕;
发明人	李维平;兰之康;侯鸿道;董旭光	申请（专利权）人	南京高华科技股份有限公司
代理机构	北京中知法苑知识产权代理有限公司	代理人	李明;赵吉阳
地址	210049江苏省南京市经济开发区栖霞大道66号
法律状态	-

摘要

本发明提出MEMS湿压集成传感器及制备方法，包括：位于衬底上的CPW信号线及位于CPW信号线两侧的CPW地线，且CPW信号线包括主线、第一副线和第二副线；凹槽，设置在主线下方的衬底上，包括第一凹槽和第二凹槽；MEMS梁，分别位于第一凹槽的底面和靠近第一副线的两个侧面上、第二凹槽的底面和靠近第二副线的两个侧面上；MEMS薄膜，与第一凹槽形成密闭腔体；第二MEMS薄膜位于第二凹槽正上方，且主线两侧的部分设置通孔；感湿层，位于第二MEMS梁和第二MEMS薄膜之间；终端匹配电阻，位于第一副线和第二副线远离主线的一端；热电堆，位于终端匹配电阻远离主线的一端。利用本发明的结构可分别获取环境压强和环境湿度。