一种切割硅片产生的切削液的回收利用系统

基本信息

申请号 CN201620922190.7 申请日 -
公开(公告)号 CN206066723U 公开(公告)日 2017-04-05
申请公布号 CN206066723U 申请公布日 2017-04-05
分类号 B28D5/04(2006.01)I;B28D7/00(2006.01)I 分类 加工水泥、黏土或石料;
发明人 李海静;王陆锋 申请(专利权)人 内蒙古日报社
代理机构 - 代理人 -
地址 010020 内蒙古自治区呼和浩特市赛罕区金桥开发区内蒙古日报社金河湾小区
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种切割硅片产生的切削液的回收利用系统,其包括切削液收集箱、压滤机、清液收集箱、精滤器、RO水存储箱、切削液存储箱和回用液水箱,切削液收集箱出液口与压滤机进液口通过管路连接,压滤机的清液出口与清液收集箱的进液口通过管路连接,清液收集箱的出液口与精滤器的进液口通过管路连接,精滤器的出液口与回用液水箱进液口通过管路连接,RO水存储箱出液口和切削液存储箱出液口分别和回用液水箱进液口通过管路连接,压滤机的浊液出口与压滤机的进液口通过管路连接。本实用新型通过将经过压滤机处理后流出的清液继续经过精滤器去除可能存在的杂质,最终降低回用切削液中的杂质含量,保证切削液品质,进而保证切割硅片的良率。