带电粒子束设备
基本信息
| 申请号 | CN202110222622.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113035675A | 公开（公告）日 | 2021-06-25 |
| 申请公布号 | CN113035675A | 申请公布日 | 2021-06-25 |
| 分类号 | H01J37/28;H01J37/26;H01J37/141 | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 卢志钢;曹峰;姚一帆;纪伟;徐强;孙飞;徐涛 | 申请（专利权）人 | 广州纳境鼎新科技有限公司 |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人 | 崔亚松 |
| 地址 | 100101 北京市朝阳区大屯路15号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种带电粒子束设备，包括带电粒子源、高压隧道管、聚焦磁镜组和复合透镜组，其中，所述高压隧道管用于将所述带电粒子源产生的带电粒子束加速；所述聚焦磁镜组和所述复合透镜组在所述高压隧道管的外周沿带电粒子束前进方向依次设置，所述聚焦磁镜组用于将带电粒子束聚焦，所述复合透镜组用于将电子束聚焦在样品上。采用本发明的带电粒子束设备，低落地能量的电子在高压隧道管中也有较快的速度，可以降低电子的相互作用，消除色差，提高低电压模式下的分辨率。 |
