沟槽内埋金属丝的IGBT器件

基本信息

申请号 CN202122493884.7 申请日 -
公开(公告)号 CN215933614U 公开(公告)日 2022-03-01
申请公布号 CN215933614U 申请公布日 2022-03-01
分类号 H01L29/739(2006.01)I;H01L29/423(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 翟露青;彭宝刚 申请(专利权)人 淄博美林电子有限公司
代理机构 淄博川诚知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 代理人 高鹏飞
地址 255000山东省淄博市张店区张柳路(淄博科技工业园东南角)
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型涉及一种沟槽内埋金属丝的IGBT器件,属于半导体器件设计制造领域。包括栅极(6)和ILD绝缘层(1),ILD绝缘层(1)设置在栅极(6)的上方,ILD绝缘层(1)上方设置有栅Pad(4),在ILD绝缘层(1)和栅极(6)之间设置有金属丝(2),金属丝(2)连接栅Finger(3),栅Finger(3)连接栅Pad(4)。本实用新型结构简单,设计合理,能够有效降低芯片开通时电流波动,不但提高了芯片稳定性,还提高了芯片的开关速度,具有较强的实用性。