沟槽内埋金属丝的IGBT器件
基本信息
申请号 | CN202122493884.7 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN215933614U | 公开(公告)日 | 2022-03-01 |
申请公布号 | CN215933614U | 申请公布日 | 2022-03-01 |
分类号 | H01L29/739(2006.01)I;H01L29/423(2006.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
发明人 | 翟露青;彭宝刚 | 申请(专利权)人 | 淄博美林电子有限公司 |
代理机构 | 淄博川诚知识产权代理事务所(特殊普通合伙) | 代理人 | 高鹏飞 |
地址 | 255000山东省淄博市张店区张柳路(淄博科技工业园东南角) | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本实用新型涉及一种沟槽内埋金属丝的IGBT器件,属于半导体器件设计制造领域。包括栅极(6)和ILD绝缘层(1),ILD绝缘层(1)设置在栅极(6)的上方,ILD绝缘层(1)上方设置有栅Pad(4),在ILD绝缘层(1)和栅极(6)之间设置有金属丝(2),金属丝(2)连接栅Finger(3),栅Finger(3)连接栅Pad(4)。本实用新型结构简单,设计合理,能够有效降低芯片开通时电流波动,不但提高了芯片稳定性,还提高了芯片的开关速度,具有较强的实用性。 |
