一种反应源连接结构
基本信息
| 申请号 | CN202023030768.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN214060637U | 公开（公告）日 | 2021-08-27 |
| 申请公布号 | CN214060637U | 申请公布日 | 2021-08-27 |
| 分类号 | C23C16/54（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 唐允清 | 申请（专利权）人 | 福建兆元光电有限公司 |
| 代理机构 | 福州市景弘专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 林祥翔;徐剑兵 |
| 地址 | 350108福建省福州市闽侯县南屿镇生物医药和机电产业园区（现住所：闽侯县南屿镇新联村6号） | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种反应源连接结构，包括第一容器，第二容器，所述第一容器、第二容器均存放有反应源，所述第一容器的一通气端与供气装置连通，第一容器的另一通气端与第二容器的一通气端连通；所述第二容器的另一通气端与反应室连接。本方案的具体方式中，我们使用的两个反应源的串联组合的新的连接结构，由于前瓶溶度大于后瓶，当组合装置剩余量到预设浓度时即可换下，并且保证其中后瓶能够准确更换，旧源使用量可达100％，并且使用该新的连接结构后钢瓶内MO源饱和蒸汽压稳定（即浓度稳定），使外延性能波动极小，利于稳定性生产，达到反应源输入环境改善的技术效果。 |
