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一种旋转靶材遮蔽喷砂的辅助工装

基本信息

申请号	CN202120784268.4	申请日	-
公开（公告）号	CN215789172U	公开（公告）日	2022-02-11
申请公布号	CN215789172U	申请公布日	2022-02-11
分类号	B24C1/04（2006.01）I;B24C9/00（2006.01）I	分类	磨削；抛光;
发明人	姚力军;潘杰;王学泽;赵丽;李闯;范文新	申请（专利权）人	广东江丰电子材料有限公司
代理机构	北京远智汇知识产权代理有限公司	代理人	王岩
地址	516001广东省惠州市惠州仲恺高新区东江产业园东新大道106号创新大厦18楼1803T号房
法律状态	-

摘要

本实用新型涉及一种旋转靶材遮蔽喷砂的辅助工装，包括底板和设置于底板上的转动装置；所述底板上至少设置2列所述转动装置，每列中至少设置2个所述转动装置；所述每列中相邻转动装置之间的距离为所述旋转靶材长度的10‑20％；相邻列之间中心线的距离为所述旋转靶材直径的80‑100％；所述相邻列之间的转动装置之间设置有间距调节装置；所述转动装置包括支撑件和转动件；所述支撑件与所述间距调节装置相连接；所述转动件通过转动连接件设置于所述支撑件上。可以实现旋转靶材遮蔽和喷砂作业的高效联合作业，同时还可对不同尺寸的旋转靶材进行同时处理，显著提高作业效率，同时也避免了遮蔽移动旋转靶材所带来的喷砂区域偏离所带来的危害。