一种溅射后LCD靶材的处理方法
基本信息
| 申请号 | CN202210324311.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114686839A | 公开（公告）日 | 2022-07-01 |
| 申请公布号 | CN114686839A | 申请公布日 | 2022-07-01 |
| 分类号 | C23C14/58（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 姚力军;潘杰;王学泽;赵丽;李闯;范文新;周伟君 | 申请（专利权）人 | 广东江丰电子材料有限公司 |
| 代理机构 | 北京远智汇知识产权代理有限公司 | 代理人 | - |
| 地址 | 516001广东省惠州市惠州仲恺高新区东江产业园东新大道106号创新大厦18楼1803T号房 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供一种溅射后LCD靶材的处理方法，所述处理方法包括对溅射后LCD靶材的背板进行喷砂处理，去除背板上残留的溅射物。所述处理方法操作简单，处理成本较低，实现了溅射后LCD靶材中背板的回收利用；而且喷砂处理中用到的砂料可以回收重复利用，不会对环境造成污染，是一种绿色经济的靶材回收处理方法，适合大规模推广应用。 |
