一种靶材组件的制备方法
基本信息
| 申请号 | CN202210434925.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114750079A | 公开（公告）日 | 2022-07-15 |
| 申请公布号 | CN114750079A | 申请公布日 | 2022-07-15 |
| 分类号 | B24C9/00（2006.01）I;B24C1/00（2006.01）I;B24B29/02（2006.01）I;C23C14/34（2006.01）I | 分类 | 磨削；抛光; |
| 发明人 | 姚力军;潘杰;王学泽;李闯;范文新;周伟君 | 申请（专利权）人 | 广东江丰电子材料有限公司 |
| 代理机构 | 北京远智汇知识产权代理有限公司 | 代理人 | - |
| 地址 | 516001广东省惠州市仲恺高新区东江产业园东新大道106号创新大厦18楼1803T号房 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供了一种靶材组件的制备方法，所述靶材组件的制备方法包括如下步骤：（1）准备靶材、背板和保护板；（2）对步骤（1）所述靶材依次进行粗铣、精铣、抛光处理、遮蔽处理以及喷砂处理，得到处理后的靶材；（3）对步骤（2）所得处理后靶材焊接至背板，以形成靶材组件；步骤（2）所述遮蔽处理包括将保护板固定设置于靶材的非溅射面上。本发明提供的靶材组件的制备方法通过提供保护板解决了喷砂对于抛光后的靶材带来的影响，且保护板可以循环使用，节省了制备成本。 |
