一种LCD靶材及其制备方法
基本信息
| 申请号 | CN202210398672.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114686827A | 公开（公告）日 | 2022-07-01 |
| 申请公布号 | CN114686827A | 申请公布日 | 2022-07-01 |
| 分类号 | C23C14/34（2006.01）I;B23P23/04（2006.01）I;B24B21/00（2006.01）I;B24B29/02（2006.01）I;B24C1/00（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 姚力军;潘杰;王学泽;赵丽;张晓驰;范文新;周伟君 | 申请（专利权）人 | 广东江丰电子材料有限公司 |
| 代理机构 | 北京远智汇知识产权代理有限公司 | 代理人 | - |
| 地址 | 516001广东省惠州市惠州仲恺高新区东江产业园东新大道106号创新大厦18楼1803T号房 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供了一种LCD靶材及其制备方法，所述LCD靶材的制备方法包括：提供LCD靶材坯件和背板；将LCD靶材坯件依次进行机械加工、焊接、抛光处理、喷砂处理、清洗以及干燥，得到所述LCD靶材；所述抛光处理包括：采用砂带进行一次抛光，而后采用抛光轮进行二次抛光；所述抛光轮的材质包括百洁布。本发明提供的LCD靶材的制备方法中采用砂带控制靶材溅射面的粗糙度，再采用抛光轮控制光泽，使得所述LCD靶材的粗糙度可达到0.01‑0.5μm，具有较高的光泽度，满足后续的使用要求。 |
