一种阳极氧化膜的制备方法
基本信息
| 申请号 | CN202210391695.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114717628A | 公开（公告）日 | 2022-07-08 |
| 申请公布号 | CN114717628A | 申请公布日 | 2022-07-08 |
| 分类号 | C25D11/10（2006.01）I;C25D11/08（2006.01）I;C25D11/16（2006.01）I;C25D11/18（2006.01）I | 分类 | 电解或电泳工艺；其所用设备〔4〕; |
| 发明人 | 姚力军;潘杰;王学泽;王青松;赵丽;李延浩 | 申请（专利权）人 | 广东江丰电子材料有限公司 |
| 代理机构 | 北京远智汇知识产权代理有限公司 | 代理人 | - |
| 地址 | 516001广东省惠州市仲恺高新区东江产业园东新大道106号创新大厦18楼1803T号房 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及一种阳极氧化膜的制备方法，所述制备方法包括依次进行的脱脂处理、碱蚀处理、中和处理、阳极氧化处理、超声波清洗处理和封孔处理。本发明通过改善工艺参数，采用6‑40g/L草酸和14‑16g/L硫酸的混合酸阳极氧化，将各个基础操作重新组合，可以明显提升皮膜的耐腐蚀性能和耐电压性，尤其是耐HCl腐蚀性能，直接解决OLED用真空干刻设备零部件表面阳极氧化膜的的腐蚀、龟裂等问题，明显提升设备在腔体内的使用寿命。 |
