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一种第三次硅片清洗水的再次循环利用装置

基本信息

申请号 CN201922216340.9 申请日 -
公开（公告）号 CN211464127U 公开（公告）日 2020-09-11
申请公布号 CN211464127U 申请公布日 2020-09-11
分类号 B08B3/14(2006.01)I;B08B13/00(2006.01)I 分类 -
发明人 史宇鹏;王朋;林海峰 申请（专利权）人 东方日升（洛阳）新能源有限公司
代理机构 洛阳高智达知识产权代理事务所（普通合伙） 代理人 李世平
地址 471000河南省洛阳市偃师市工业区
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种第三次硅片清洗水的再次循环利用装置，包括圆形箱体，所述圆形箱体内设有过滤结构；所述过滤结构包括：锥形筛网壳、圆形筛网壳体以及伺服电机；所述圆形箱体内侧壁面安置有第一环形框架，所述第一环形框架上开设有位置相对应的条形豁槽，每个所述条形豁槽内均安置有支柱，每个所述支柱上均套装有线圈，一对所述线圈上共同安置有第二环形框架，本实用新型涉及硅片清洗水的再次循环利技术领域。有效的解决了背景技术中所提及的硅片清洗工序中问题，通过本装置的过滤结构，便于将第三次清洗的水进行过滤，便于再次使用，便于水循环使用，节约水资源。