一种多边形孔等离子体发生装置

基本信息

申请号 CN202021544566.8 申请日 -
公开(公告)号 CN212463606U 公开(公告)日 2021-02-02
申请公布号 CN212463606U 申请公布日 2021-02-02
分类号 H05H1/24(2006.01)I 分类 其他类目不包含的电技术;
发明人 胡佳伟;李庆;成星;韩波 申请(专利权)人 西安空天机电智能制造有限公司
代理机构 西安弘理专利事务所 代理人 韩玙
地址 710000陕西省西安市国家民用航天产业基地航创路1123号慧谷创新园B座
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种多边形孔等离子体发生装置,自上而下包括依次紧密贴合的上电极板、介质板、下电极板;介质板包括矩形绝缘薄板,矩形绝缘薄板上均匀开设多个尺寸一致的正多边形的通孔a,矩形绝缘薄板上表面位于每个通孔a的边缘连接与通孔a形状一致的凸台,每个凸台连接上电极板;上电极板包括上矩形金属板薄板,每个上矩形金属板薄板上开设与通孔a尺寸、位置一致的通孔b,每个通孔b内嵌接一个凸台;下电极板包括下矩形金属板薄板,每个下矩形金属板薄板上开设与通孔a尺寸、位置一致的通孔c。能够产生大面积均匀的等离子体放电区域,还具有安装简单、生产效率高、生产成本低、结构刚性好、制造维护简单、环境适应性强的优点。