一种多边形孔等离子体发生装置
基本信息
申请号 | CN202021544566.8 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN212463606U | 公开(公告)日 | 2021-02-02 |
申请公布号 | CN212463606U | 申请公布日 | 2021-02-02 |
分类号 | H05H1/24(2006.01)I | 分类 | 其他类目不包含的电技术; |
发明人 | 胡佳伟;李庆;成星;韩波 | 申请(专利权)人 | 西安空天机电智能制造有限公司 |
代理机构 | 西安弘理专利事务所 | 代理人 | 韩玙 |
地址 | 710000陕西省西安市国家民用航天产业基地航创路1123号慧谷创新园B座 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本实用新型公开了一种多边形孔等离子体发生装置,自上而下包括依次紧密贴合的上电极板、介质板、下电极板;介质板包括矩形绝缘薄板,矩形绝缘薄板上均匀开设多个尺寸一致的正多边形的通孔a,矩形绝缘薄板上表面位于每个通孔a的边缘连接与通孔a形状一致的凸台,每个凸台连接上电极板;上电极板包括上矩形金属板薄板,每个上矩形金属板薄板上开设与通孔a尺寸、位置一致的通孔b,每个通孔b内嵌接一个凸台;下电极板包括下矩形金属板薄板,每个下矩形金属板薄板上开设与通孔a尺寸、位置一致的通孔c。能够产生大面积均匀的等离子体放电区域,还具有安装简单、生产效率高、生产成本低、结构刚性好、制造维护简单、环境适应性强的优点。 |
