一种锑化镓多晶原料的合成装置及方法
基本信息
| 申请号 | CN202010659461.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN111647947B | 公开（公告）日 | 2021-11-19 |
| 申请公布号 | CN111647947B | 申请公布日 | 2021-11-19 |
| 分类号 | C30B29/40（2006.01）I;C30B28/00（2006.01）I | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
| 发明人 | 吕冰 | 申请（专利权）人 | 苏州燎塬半导体有限公司 |
| 代理机构 | 北京中仟知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 田江飞 |
| 地址 | 215614 江苏省苏州市张家港市凤凰镇凤凰大道14号（凤凰科技创业园F幢6层） | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及一种锑化镓多晶原料的合成装置及方法，该装置通过采用密闭的安瓿瓶，同时结合独特的石英坩埚结构和工艺设计，从而避免了高温下锑单质的大量挥发，成功获得了化学计量比接近1:1的锑化镓多晶原料，并且具有极好的工艺重复性。 |
