一种加密芯片的清洗装置
基本信息
| 申请号 | CN201811611792.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN109860079B | 公开（公告）日 | 2021-07-13 |
| 申请公布号 | CN109860079B | 申请公布日 | 2021-07-13 |
| 分类号 | H01L21/67 | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 王硕;张冬平;吴克平;李继萍 | 申请（专利权）人 | 芜湖鑫芯微电子有限公司 |
| 代理机构 | 芜湖思诚知识产权代理有限公司 | 代理人 | 杨涛 |
| 地址 | 241000 安徽省芜湖市弋江区高新技术产业开发区科技产业园4号楼10层1005、1006室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种加密芯片的清洗装置，涉及半导体芯片技术领域，包括装置本体，所述装置本体的两个侧面分别开有送料口与出料口，所述装置本体由上盖板和下槽体卡接而成，所述装置本体内设有传送机构和清洗机构，本发明操作便捷，通过设置传送机构、清洗机构、烘干机构实现了加密芯片的一体式自动化的浸泡、清洗、淋洗和烘干过程，自动化程度高，清洗效率高，洁净度高，减少芯片损伤，烘干过程中，可以通过调节加热管距离芯片的高度以及风扇的风速调节烘干环境，实用性高。 |
