一种金刚石拉拔模具多晶薄膜涂层抛光设备及抛光方法
基本信息
| 申请号 | CN202210370678.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114434305A | 公开（公告）日 | 2022-05-06 |
| 申请公布号 | CN114434305A | 申请公布日 | 2022-05-06 |
| 分类号 | B24B29/02（2006.01）I;B24B47/20（2006.01）I;B24B41/06（2012.01）I;B24B57/02（2006.01）I;B24B49/02（2006.01）I;B24B27/02（2006.01）I;B24B49/16（2006.01）I | 分类 | 磨削；抛光; |
| 发明人 | 李洪波;宫哲;雷志伟;李玉霞;张田龙;郝存明;孙瑞轩;肖磊;郭朝;王帅;张翠华;郝虎全;王腾;赵旭;刘根;王凡;冯明明;申莉竹;刘泽雨 | 申请（专利权）人 | 河北省自动化研究所有限公司 |
| 代理机构 | 石家庄科途知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 檀文礼 |
| 地址 | 050000河北省石家庄市桥西区友谊南大街46号河北省科学院4号楼 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及一种金刚石拉拔模具多晶薄膜涂层抛光设备，用于金刚石拉拔模具的多晶薄膜涂层不规则曲面的均匀抛光，包括工作台、对金刚石拉拔模具进行夹持的夹持装置，以及相对于金刚石拉拔模具进给方向可调、并柔性贴合于多晶薄膜涂层、以对多晶薄膜涂层进行抛光处理的抛光装置；还包括喷淋于多晶薄膜涂层表面的金刚石微粉混合液，以及对金刚石微粉混合液进行混料并输送的混料输送装置。本发明能够对金刚石拉拔模具的多晶薄膜涂层，尤其是针对多晶薄膜涂层的不规则曲面进行自动、均匀抛光，加工精度高，且加工效率高，而具有较好的使用效果。本发明还涉及一种金刚石拉拔模具多晶薄膜涂层抛光方法。 |
