一种MEMS技术的光纤连接器插芯及MPO光纤连接器专利查询专利号|摘要-满商公司网

一种MEMS技术的光纤连接器插芯及MPO光纤连接器

基本信息

申请号	CN201710027928.2	申请日	-
公开（公告）号	CN106547053A	公开（公告）日	2017-03-29
申请公布号	CN106547053A	申请公布日	2017-03-29
分类号	G02B6/38(2006.01)I	分类	光学;
发明人	李四华;王文辉;邓江东;杨忠钰;李维	申请（专利权）人	苏州盛维新电子科技有限公司
代理机构	-	代理人	-
地址	215123 江苏省苏州市苏州工业园金鸡湖大道99号纳米城西北区20幢513室
法律状态	-

摘要

本发明涉及一种MEMS技术的MPO光纤连接器插芯和制作方法，以及由该插芯构成的MPO光纤连接器。该插芯芯片包括基底材料11和定位光纤位置的阵列定位孔12，根据MPO连接器组装要求也可以增加连接定位杆的通孔结构13和光纤整体放置的位置孔结构14。利用上述MEMS技术制作的MPO光纤连接器插芯21，配合上插芯套22、MPO连接器的外壳23、机座24、定位座25和外围套管26可以构成高精度高密度的MPO光纤连接器。本发明采用半导体的图形光刻工艺，在硅材料基底的二维平面上高精度高密度的分布出光纤通道的定位孔位置，再采用MEMS技术的硅深刻蚀或湿法腐蚀工艺，在硅衬底上制作出立体形状的定位光纤的定位孔，最后进行划片分离出用于MPO光纤定位的插芯芯片。