一种混合驱动的可调谐光学驱动器
基本信息
| 申请号 | CN201520025671.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN204719329U | 公开（公告）日 | 2015-10-21 |
| 申请公布号 | CN204719329U | 申请公布日 | 2015-10-21 |
| 分类号 | G02B26/08(2006.01)I;G02B6/26(2006.01)I;B81B7/02(2006.01)I;B81B3/00(2006.01)I;B81C1/00(2006.01)I | 分类 | 光学; |
| 发明人 | 李四华;王文辉;钟桂雄;李维;施林伟 | 申请（专利权）人 | 苏州盛维新电子科技有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 518000 广东省中山市福田区彩田路西红荔路南中银花园办公楼A栋22A.B.Cb.Ca.D.E-E-8 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及一种混合驱动方式的可调谐光学驱动器，包括热驱动变形梁1、磁驱动变形梁2、驱动电极3-6、电隔离槽7-11、微镜面12，其特征在于所述磁驱动梁2和热驱动梁1通过驱动连接结构与微镜面12连接，根据不同磁场方向和施加的电压，所述驱动梁会产生不同的驱动力改变微镜面的运动方向。所述梁1和梁2之间用隔离槽进行电隔离和热隔离。本实用新型采用了可以磁热兼容的混合驱动结构设计，同时采用不同的隔离结构对其电学驱动进行隔离，减少了热驱动梁的功耗，可以在不增加热驱动功耗时增加其光衰减量。同时由于采用电学隔离和热学隔离，避免了热驱动梁上的热变化对微镜面结构的影响，提高了器件的整体性能及可靠性。 |
