导电玻璃超低温循环镀膜装置
基本信息
| 申请号 | CN201320510906.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN203419980U | 公开（公告）日 | 2014-02-05 |
| 申请公布号 | CN203419980U | 申请公布日 | 2014-02-05 |
| 分类号 | C23C14/35(2006.01)I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 冯新伟 | 申请（专利权）人 | 常州津通光电技术有限公司 |
| 代理机构 | 常州市维益专利事务所 | 代理人 | 王凌霄 |
| 地址 | 213164 江苏省常州市武进高新技术产业开发区西湖路8号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种导电玻璃超低温循环镀膜装置，包括镀膜单元，所述镀膜单元至少为首尾相连的两个，镀膜单元包括垂直设置的冷却水槽、贴合设置在冷却水槽侧面的永磁铁，与永磁铁正面相对设置有铜质的靶材基座，朝向永磁铁的靶材基座内表面设有与永磁铁位置对应的靶材，待镀膜的导电玻璃位于永磁铁与靶材之间，靶材基座外表面设有回旋布置的电加热管，所述电加热管连接有用于控制镀膜温度的温控系统。本实用新型通过设置至少两个首尾相连的镀膜单元，且控制每个镀膜单元的镀膜温度在160℃左右，实现了导电玻璃镀膜时低温一次性连续多次镀膜，使得镀膜后的膜层厚度达到设计要求，有效地提高和稳定了镀膜膜层的均匀性。 |
