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真空镀膜双路供气装置

基本信息

申请号 CN201320510088.2 申请日 -
公开（公告）号 CN203421491U 公开（公告）日 2014-02-05
申请公布号 CN203421491U 申请公布日 2014-02-05
分类号 F17C7/00(2006.01)I;F17C13/02(2006.01)I;F17C13/04(2006.01)I 分类 气体或液体的贮存或分配;
发明人 冯新伟 申请（专利权）人 常州津通光电技术有限公司
代理机构 常州市维益专利事务所 代理人 王凌霄
地址 213164 江苏省常州市武进高新技术产业开发区西湖路8号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种真空镀膜双路供气装置，包括气瓶，所述气瓶包括出气口管路连接的第一气瓶和第二气瓶，在连接第一气瓶和第二气瓶的管路上，分别设有控制第一气瓶供气的第一电磁阀、控制第二气瓶供气的第二电磁阀，第一电磁阀和第二电磁阀之间的管路上连接有通向真空镀膜设备的供气管，第一电磁阀和第二电磁阀内均设有可检测气体压力的压力传感器，第一电磁阀和第二电磁阀线路连接有控制器。本实用新型通过第一气瓶和第二气瓶的自动切换，保证了真空镀膜设备用气的稳定性，避免了由于气瓶内气体容量或气压过低而对镀膜质量带来的不利影响。