一种套筒靶材石墨绑定技术
基本信息
| 申请号 | CN201410270154.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN104005001B | 公开（公告）日 | 2016-09-07 |
| 申请公布号 | CN104005001B | 申请公布日 | 2016-09-07 |
| 分类号 | C23C14/34(2006.01)I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 罗文富;石煜 | 申请（专利权）人 | 厦门映日新材料科技有限公司 |
| 代理机构 | 厦门市精诚新创知识产权代理有限公司 | 代理人 | 芜湖映日科技有限公司 |
| 地址 | 241000 安徽省芜湖市芜湖经济技术开发区汽经一路5号1-005 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种套筒靶材石墨绑定技术。步骤为：将不锈钢管衬管外径，套筒靶材内径，分别车圆至一定直径进行绑定；将靶材套筒上包裹加热包加热；把熔化好的金属涂在靶材套筒内壁；将3块厚度为1.5mm石墨纸放在专用平台上，加热石墨纸；将熔化好的金属涂在石墨纸上；将铜丝网放到石墨纸上；再将铜丝网的另外一面放到涂了金属的靶材套筒上；加热包降温至金属固化，固定好；最后把绑定好石墨纸的靶材旋入不锈钢管内，石墨纸与不锈钢管3段间隙使用高温导电胶填充。本发明方法增加了靶材导电、导热性；所得产品靶材与绑定衬管紧密贴合90%；同时具有一定延展性；导电导热性好，成本低。 |
