一种可调节式的靶材等离子喷涂自吹积瘤装置

基本信息

申请号 CN201520489730.2 申请日 -
公开(公告)号 CN204959021U 公开(公告)日 2016-01-13
申请公布号 CN204959021U 申请公布日 2016-01-13
分类号 C23C4/134(2016.01)I 分类 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
发明人 石煜;罗永春;曾墩风 申请(专利权)人 厦门映日新材料科技有限公司
代理机构 厦门市精诚新创知识产权代理有限公司 代理人 厦门映日新材料科技有限公司
地址 361000 福建省厦门市同安区苏厝路73号1#厂房第一层
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开一种可调节式的靶材等离子喷涂自吹积瘤装置,该自吹积瘤装置包括位于喷涂罐外且依次利用气管连通的空气压缩机、减压阀、储气罐及脉冲电磁阀,及位于喷涂罐内的吹气架,所述吹气架与等离子喷嘴连接,所述吹气架包括至少三根吹气嘴,所述各吹气嘴可调节的设置在离子喷嘴上,各吹气嘴呈L形状,该吹气嘴一端为吹气端,且该吹气端位于等离子喷嘴前方并其令吹气方向与离子喷嘴的喷涂方向垂直。本实用新型在原有技术的基础上形成可调节的结构,令其适应度高、便于工作人员操作等优点。