一种基于声表面波雾化器应用的系统
基本信息
| 申请号 | CN202022776392.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN214234715U | 公开（公告）日 | 2021-09-21 |
| 申请公布号 | CN214234715U | 申请公布日 | 2021-09-21 |
| 分类号 | B05B17/06（2006.01）I;B05D1/26（2006.01）I | 分类 | 一般喷射或雾化；对表面涂覆液体或其他流体的一般方法〔2〕; |
| 发明人 | 吴双;艾国齐;柯毅东;谈江乔;刘鉴明 | 申请（专利权）人 | 厦门乾照半导体科技有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 361001福建省厦门市火炬高新区（翔安）产业区翔天路267号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型提供了一种基于声表面波雾化器应用的系统，通过声表面波雾化器对液滴进行雾化形成雾剂后，通过加热装置将所述雾剂在所述雾化受体表面加热成膜；从而可形成均匀的薄膜层。进一步地，加热装置包括热板、嵌入热板的若干个顶针及真空吸附孔，且所述热板为可旋转体；所述顶针用于支撑所述雾化受体；所述真空吸附孔用于吸附所述雾化受体，可用于旋涂成膜工艺，雾滴通过热板迅速烘烤固化有助于减缓旋涂方式导致的液膜不平现象，同时，由于烘烤过程中溶剂的蒸发可降低溶剂表面张力的影响，且适宜的烘烤温度可以使得雾滴具有一定的流动性，进而流延成膜。 |
