可巨量转移的微元件及其制作和转移方法、显示装置
基本信息
| 申请号 | CN202110674794.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113284826A | 公开（公告）日 | 2021-08-20 |
| 申请公布号 | CN113284826A | 申请公布日 | 2021-08-20 |
| 分类号 | H01L21/67（2006.01）I;H01L27/15（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 江方;吴双;冯妍雪;柯志杰;艾国齐 | 申请（专利权）人 | 厦门乾照半导体科技有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 361001福建省厦门市火炬高新区（翔安）产业区翔天路267号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供了可巨量转移的微元件及其制作和转移方法、显示装置，包括所述发光结构包括通过沟槽相互隔离的若干个LED芯粒，且各所述LED芯粒包括外延叠层、链条层、绝缘保护层、第一电极及第二电极；各所述LED芯粒通过所述键合层嵌入所述沟槽，使所述LED芯粒倒挂悬空于所述支撑基板的上方；且所述外延叠层的局部区域蚀刻至部分所述的第一型半导体层形成凹槽及台面；所述链条层层叠于所述台面，并延伸至对应LED芯粒两侧的沟槽；所述绝缘保护层覆盖各所述LED芯粒及其对应的链条层，且分别裸露各所述LED芯粒所对应的台面和凹槽的部分表面。 |
