一种转移装置及转移方法
基本信息
| 申请号 | CN202110171752.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112992765A | 公开（公告）日 | 2021-06-18 |
| 申请公布号 | CN112992765A | 申请公布日 | 2021-06-18 |
| 分类号 | H01L21/683;H01L21/67 | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 江方;吴双;冯妍雪;柯志杰;艾国齐 | 申请（专利权）人 | 厦门乾照半导体科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人 | 姚璐华 |
| 地址 | 361100 福建省厦门市火炬高新区（翔安）产业区翔天路267号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供了一种转移装置及转移方法，该转移装置采用磁性吸附的方式实现对弱化结构芯片的抓取，相比较粘结和静电吸附的技术手段而言，其抓取稳定性很强，进而可以在弱化结构芯片的转移过程中提高转移效率，最终提高产能。 |
