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自动实时快速检测晶片基底二维形貌的装置

基本信息

申请号 CN201410188236.2 申请日 -
公开（公告）号 CN105091788B 公开（公告）日 2017-11-07
申请公布号 CN105091788B 申请公布日 2017-11-07
分类号 G01B11/25(2006.01)I 分类 测量；测试;
发明人 刘健鹏;马铁中 申请（专利权）人 昂坤视觉（北京）科技有限公司
代理机构 北京华沛德权律师事务所 代理人 北京智朗芯光科技有限公司;昂坤视觉（北京）科技有限公司
地址 102206 北京市昌平区昌平路97号新元科技园B座503室
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种自动实时快速检测晶片基底二维形貌的装置。包括第一运算模块、第二运算模块和分析模块，第一运算模块根据N个光斑的位置信号，计算晶片基底上任意两个入射点之间在待测基底沿X方向的曲率CX，第二运算模块根据N个光斑的位置信号，计算晶片基底上任意一个入射点在待测基底移动方向即Y方向的曲率CY，其中，N为3以上的自然数，N个光斑是由N束激光沿晶片基底径向即X方向入射到晶片基底后又分别反射到与入射光一一对应的PSD上形成的，分析模块根据各CX、CY的计算结果，得到基底的二维形貌。该装置能够与高速旋转的石墨盘上的蓝宝石基底相适应。