一种在线实时检测外延片生长的方法
基本信息
| 申请号 | CN201310646667.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN104697972B | 公开（公告）日 | 2017-08-29 |
| 申请公布号 | CN104697972B | 申请公布日 | 2017-08-29 |
| 分类号 | G01N21/65(2006.01)I;H01L21/66(2006.01)I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 严冬;马铁中;王林梓;刘健鹏 | 申请（专利权）人 | 昂坤视觉（北京）科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京华沛德权律师事务所 | 代理人 | 北京智朗芯光科技有限公司;昂坤视觉（北京）科技有限公司 |
| 地址 | 102206 北京市昌平区昌平路97号新元科技园B座503室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种在线实时检测外延片生长的方法，属于半导体材料制造设备技术领域。该方法根据各外延片对应的实时拉曼散射光谱数据，实时分析各外延片带隙、微结构、组分信息，并实时反馈各外延片的波长偏差，从而在线实时检测各外延片的生长信息。该方法参数易协调一致且实时检测数据量明显降低，应用本发明提供的在线实时检测外延片生长的方法能够减小外延片质量差及报废带来的损失。 |
