一种在线实时检测外延片生长的装置
基本信息
| 申请号 | CN201310651513.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN104697974B | 公开（公告）日 | 2017-09-12 |
| 申请公布号 | CN104697974B | 申请公布日 | 2017-09-12 |
| 分类号 | G01N21/65(2006.01)I;H01L21/66(2006.01)I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 马铁中;严冬;王林梓;刘健鹏 | 申请（专利权）人 | 昂坤视觉（北京）科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京华沛德权律师事务所 | 代理人 | 北京智朗芯光科技有限公司;昂坤视觉（北京）科技有限公司 |
| 地址 | 102206 北京市昌平区昌平路97号新元科技园B座503室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种在线实时检测外延片生长的装置，属于半导体材料制造设备技术领域。该装置MOCVD反应室、光学组件、拉曼散射光谱产生系统、拉曼散射光谱接收系统、数据分析系统、光电开关、触发信号电路和操作电路。该装置结构简单、参数易协调一致且实时检测数据量明显降低。 |
