一种在线实时检测外延片温度的装置及方法
基本信息
| 申请号 | CN201310651743.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN104697645B | 公开（公告）日 | 2017-11-03 |
| 申请公布号 | CN104697645B | 申请公布日 | 2017-11-03 |
| 分类号 | G01J5/52(2006.01)I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 严冬;马铁中;王林梓;刘健鹏 | 申请（专利权）人 | 昂坤视觉（北京）科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京华沛德权律师事务所 | 代理人 | 北京智朗芯光科技有限公司;昂坤视觉（北京）科技有限公司 |
| 地址 | 102206 北京市昌平区昌平路97号新元科技园B座503室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种在线实时检测外延片温度的装置及方法，属于半导体检测技术领域。该装置包括MOCVD反应腔、光源、分束器、参考光探测器、反射光探测器和数据采集单元。该方法以该装置为基础，能够得到针对外延片的反应腔窗口镀膜引起的热辐射衰减因子和反应腔窗口镀膜引起的反射率衰减因子。该装置及方法能够消除反应腔窗口镀膜对在线实时温度检测值造成的影响、提高在线实时温度检测值准确度。 |
