一种波导型光镊芯片及其制备方法
基本信息
| 申请号 | CN202110812238.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113470847A | 公开（公告）日 | 2021-10-01 |
| 申请公布号 | CN113470847A | 申请公布日 | 2021-10-01 |
| 分类号 | G21K1/00（2006.01）I;G02B6/12（2006.01）I;G02B6/13（2006.01）I | 分类 | 核物理；核工程; |
| 发明人 | 尹小杰;孙静雯;王亮亮;常夏森 | 申请（专利权）人 | 河南仕佳光子科技股份有限公司 |
| 代理机构 | 郑州优盾知识产权代理有限公司 | 代理人 | 栗改 |
| 地址 | 458030河南省鹤壁市淇滨区国家经济技术开发区延河路201号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种波导型光镊芯片及其制备方法，包括芯片基底；芯片包层，所述芯片包层设置在芯片基底的表面上；光波导，所述光波导设置在芯片包层中，所述光波导为至少两条，入射到至少两条光波导的光汇聚于一点，此点即为光汇聚点；微流道，所述微流道设于光汇聚点上，所述微流道穿过芯片包层、并深入到光波导层。本发明中通过在芯片中设置光波导，能够利用光波导进行光线传输，并将入射到光波导的光汇聚于一点，从而能够对微流道中的微米或纳米粒子进行光操作，在一定程度上减小了光镊结构的体积，降低了光镊结构的系统复杂度。 |
