一种基于透射电镜的样品表面结构成像方法
基本信息
| 申请号 | CN201810352660.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN108593690B | 公开（公告）日 | 2020-12-15 |
| 申请公布号 | CN108593690B | 申请公布日 | 2020-12-15 |
| 分类号 | G01N23/20008;G01N23/04 | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 王岩国 | 申请（专利权）人 | 南京腾元软磁有限公司 |
| 代理机构 | 南京经纬专利商标代理有限公司 | 代理人 | 中兆培基南京新材料技术研究院有限公司;江苏中科启航新材料工业研究院有限公司;中兆培基（北京）电气有限公司;江苏非晶电气有限公司;南京腾元软磁有限公司 |
| 地址 | 211316 江苏省南京市高淳经济开发区紫荆大道以西，秀山路以南 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及材料表面结构表征技术领域，公开了一种基于透射电镜的样品表面结构成像方法，包括：制备透射电镜样品；获得样品的低放大倍数图像；获得样品表面结构的高放大倍数图像。该方法通过调节透射电镜物镜焦距来调控物镜取景深度和取景位置，利用物镜取景位置和有限的取景深度来强化样品表面结构信息的同时弱化样品内部结构信息，进而简单、快速并准确的获得真实反应样品表面结构的透射电镜图像，从而有效评价材料或器件的性能。本发明具有实施成本低、效率高、可操控性和重复性强、技术可靠性高等特点，适合于在固体表面研究领域的广泛应用。 |
