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一种大气压直流弧放电等离子体发生装置及阴极制作方法

基本信息

申请号 CN201010171594.4 申请日 -
公开（公告）号 CN102244971A 公开（公告）日 2011-11-16
申请公布号 CN102244971A 申请公布日 2011-11-16
分类号 H05H1/34(2006.01)I;H05H1/28(2006.01)I 分类 其他类目不包含的电技术;
发明人 芶富均;吕晓丹 申请（专利权）人 贵州翔明科技有限责任公司
代理机构 贵阳中新专利商标事务所 代理人 贵州翔明科技有限责任公司
地址 550022 贵州省贵阳市高新区长岭南路留学人员创业园A4栋
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种大气压直流弧放电等离子体发生装置及阴极制作方法，其特征在于：在制作大气压直流弧放电等离子体发生装置时，在该装置上至少制作两个阴极，将其中一个阴极采用LaB6（六硼化物）材料制作，而其它的阴极采用钨金属材料制作，并且采用直流电源作为大气压直流弧放电等离子体发生装置。本发明不仅既能降低产生等离子体的功率、同时又能保证产生高密度等离子体的优点，而且还具有电源能量转换率高、操作和维护都方便、使用寿命长、设备简单等优点。本发明特别适合进行快速薄膜沉积使用。