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一种大气压直流弧放电等离子体发生装置

基本信息

申请号 CN201210317577.6 申请日 -
公开（公告）号 CN102833936A 公开（公告）日 2012-12-19
申请公布号 CN102833936A 申请公布日 2012-12-19
分类号 H05H1/28(2006.01)I 分类 其他类目不包含的电技术;
发明人 吕晓丹;芶富均 申请（专利权）人 贵州翔明科技有限责任公司
代理机构 贵阳中新专利商标事务所 代理人 贵州翔明科技有限责任公司
地址 550000 贵州省贵阳市高新区长岭南路留学人员创业园A4栋
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种大气压直流弧放电等离子体发生装置，包括放电腔室，在放电腔室的上方设有LaB6阴极和钨阴极，在放电腔室的顶部、LaB6阴极与钨阴极之间设有与工作气体源连接的气体源接口，在放电腔室的底部设有绝缘层，在绝缘层下设有水冷板，在水冷板的下方安装有设有阳极喷嘴的阳极，在LaB6阴极、钨阴极和阳极上设有与直流电源连接的接头，在绝缘层和水冷板中设有能使阳极与放电腔室相同的通道。本发明不仅具有既能降低产生等离子体的功率、同时又能保证产生高密度等离子体的优点，而且还具有电源能量转换率高、操作和维护都方便、使用寿命长、设备简单等优点。本发明特别适合进行快速薄膜沉积使用。