高纯度砷烷提纯及收集装置
基本信息
申请号 | CN202122425560.X | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN216023236U | 公开(公告)日 | 2022-03-15 |
申请公布号 | CN216023236U | 申请公布日 | 2022-03-15 |
分类号 | B01D3/14(2006.01)I;B01D53/00(2006.01)I | 分类 | 一般的物理或化学的方法或装置; |
发明人 | 候星成;任少科;张澈;于枫;苏耀华 | 申请(专利权)人 | 中昊光明化工研究设计院有限公司 |
代理机构 | 北京高沃律师事务所 | 代理人 | 李胜强 |
地址 | 116031辽宁省大连市普湾新区松木岛化工园区沐百路21号 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本实用新型公开了一种高纯度砷烷提纯及收集装置,包括精馏塔塔釜、精馏塔和管路系统。其中,精馏塔塔釜用于将液相砷烷加热蒸发,精馏塔塔釜具有加热循环器。精馏塔用于将气相砷烷冷凝,精馏塔具有冷凝器,精馏塔的入口与精馏塔塔釜的出口连通。管路系统用于监测并收集含有砷烷的不凝汽。相比于现有技术,本实用新型采用分离效果更好的精馏塔纯化砷烷,并且通过在管路系统上设置终端纯化器和过滤器对砷烷进一步纯化,同时利用在线分析仪实时监测砷烷纯度,能够将砷烷粗品精制到高纯级别,并且能够达到连续收集的效果,提高了生产效率。 |
