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一种出光波长可调的垂直腔面发射激光器

基本信息

申请号	CN201922210375.1	申请日	-
公开（公告）号	CN210074421U	公开（公告）日	2020-02-14
申请公布号	CN210074421U	申请公布日	2020-02-14
分类号	H01S5/183;H01S5/06	分类	基本电气元件;
发明人	李迈克	申请（专利权）人	中证博芯（重庆）半导体有限公司
代理机构	重庆信航知识产权代理有限公司	代理人	中证博芯（重庆）半导体有限公司
地址	401573 重庆市合川区草街街道嘉合大道500号
法律状态	-

摘要

本实用新型提供一种出光波长可调的垂直腔面发射激光器，包括衬底基板，衬底基板底面形成有VCSEL阴极层，衬底基板表面顺序形成有高反射率的下DBR层、有源区域、氧化限制层和高反射率的上DBR层，氧化限制层和上DBR层之间设置有液晶盒层，液晶盒层包括顺序层叠的液晶阳极、液晶盒和液晶阴极，液晶阳极形成在氧化限制层表面，液晶盒包括相对配置的下取向层和上取向层及设置在上下取向层边缘的封框胶，液晶盒体内灌注有液晶和散布有隔离球，液晶阴极形成在上取向层表面并与上DBR层底面接触。本申请通过改变液晶阳极和液晶阴极之间电压的方式，进而改变液晶本身的折射系数最终可调节VCSEL出光波长，进而能够实现更低成本的VSCEL，具有广泛应用范围。