一种单向微滤阀及具有该单向微滤阀的真空设备

基本信息

申请号 CN202123346849.9 申请日 -
公开(公告)号 CN216555527U 公开(公告)日 2022-05-17
申请公布号 CN216555527U 申请公布日 2022-05-17
分类号 F16K15/06(2006.01)I;F16K1/36(2006.01)I;F16K1/46(2006.01)I;F16K47/08(2006.01)I;B01D46/00(2022.01)I 分类 工程元件或部件;为产生和保持机器或设备的有效运行的一般措施;一般绝热;
发明人 岳向成 申请(专利权)人 川北真空科技(北京)有限公司
代理机构 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 代理人 -
地址 102200北京市昌平区振兴路36号5楼
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型提供一种单向微滤阀及具有该单向微滤阀的真空设备,属于真空设备技术领域,其中,单向微滤阀包括:阀体、阀芯、弹性件、微滤件和节流塞,所述阀芯滑动设置在阀体内;所述弹性件连接所述阀芯,具有使所述阀芯朝向将所述流通通道封闭的方向进行移动的弹性力;微滤件,设置在所述流通通道内,用于过滤流通在所述流通通道的流体;节流塞,设置在所述阀体的进口段内,具有与所述微滤件连通的节流孔;本实用新型的单向微滤阀,在进口段内通过节流塞配合微滤件,实现超低流量的通过,并通过微滤件保证通过的流体具有超高洁净度,从而保证流体能够进行超低流量和超高洁净度的单向导通。