光栅衍射效率测试装置及方法
基本信息
| 申请号 | CN202210253223.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114720093A | 公开（公告）日 | 2022-07-08 |
| 申请公布号 | CN114720093A | 申请公布日 | 2022-07-08 |
| 分类号 | G01M11/02（2006.01）I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 付大为;王亚兰;刘景涛 | 申请（专利权）人 | 北京华卓精科科技股份有限公司 |
| 代理机构 | 北京荟英捷创知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | - |
| 地址 | 100176北京市大兴区北京经济技术开发区科创十街19号院2号楼2层（北京自贸试验区高端产业片区亦庄组团） | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供了一种光栅衍射效率测试装置及方法，涉及光栅衍射效率测量领域，为解决现有光栅衍射效率的扫描范围有限的问题而设计。该光栅衍射效率测试装置包括光源、测量头、移动组件以及用于放置待测光栅的样品台；测量头安装于移动组件，移动组件用于带动测量头在待测光栅的平行平面线性移动，样品台至少具有第一位置和第二位置，第一位置和第二位置具有绕Z向的相位差，Z向垂直于待测光栅；测量头用于接收光源发出的光束并将该光束以设定角度照射至待测光栅，以及接收由待测光栅衍射返回的光束。本发明可实现对待测光栅的全幅面衍射效率测试，有效解决了现有测试装置扫描范围有限的问题。 |
