微动台相对于粗动台的位置精密测量装置专利查询专利号|摘要-满商公司网

微动台相对于粗动台的位置精密测量装置

基本信息

申请号	CN202220298687.1	申请日	-
公开（公告）号	CN216925506U	公开（公告）日	2022-07-08
申请公布号	CN216925506U	申请公布日	2022-07-08
分类号	G01B21/00（2006.01）I	分类	测量；测试;
发明人	张志刚;王利臣	申请（专利权）人	北京华卓精科科技股份有限公司
代理机构	北京头头知识产权代理有限公司	代理人	-
地址	100176北京市大兴区北京经济技术开发区科创十街19号院2号楼2层（北京自贸试验区高端产业片区亦庄组团）
法律状态	-

摘要

本实用新型涉及一种微动台相对于粗动台位置精密测量装置，属于精密测量技术领域。本实用新型的目的是提供一种测量精度更高、结构更协调的微动台相对于粗动台的位置精密测量装置，所述微动台由微动台驱动电机驱动，所述微动台驱动电机包括动子及定子，还包括至少一个垂向标靶、至少一个水平标靶及至少一个位置传感器，所述垂向标靶及所述水平标靶均设置于所述定子上，所述垂向标靶呈环状间隔设置，所述水平标靶呈环状间隔布置，所述垂向标靶位于外环，所述水平标靶位于内环，所述位置传感器均设置于所述定子上，所述位置传感器分别靠近所述垂向标靶或所述水平标靶设置，所述位置传感器用于测得靠近所述位置传感器的所述垂向标靶或所述水平标靶的位置信息。