一种涂布稳定的光刻胶涂布装置
基本信息
申请号 | CN202121434455.6 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN215264370U | 公开(公告)日 | 2021-12-21 |
申请公布号 | CN215264370U | 申请公布日 | 2021-12-21 |
分类号 | G03F7/16(2006.01)I | 分类 | 摄影术;电影术;利用了光波以外其他波的类似技术;电记录术;全息摄影术〔4〕; |
发明人 | 宗健;曾利萍;李红岩 | 申请(专利权)人 | 江苏博砚电子科技股份有限公司 |
代理机构 | 无锡市天宇知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人 | 蒋何栋 |
地址 | 214241江苏省无锡市宜兴市徐舍镇工业集中区徐丰路36号 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本实用新型公开了一种涂布稳定的光刻胶涂布装置,涉及光刻胶技术领域,为解决现有光刻胶在涂布机上进行涂料的时候,辊轴清理不便的问题。所述光刻胶涂布装置主体上端面的一侧设置有第一挡板,所述光刻胶涂布装置主体上端面的另一侧设置有第二挡板,所述第二挡板和第一挡板之间设置有辊轴,且辊轴设置有六个,六个所述辊轴的外侧均设置哟遮挡板,且遮挡板的两端分别与第二挡板和第一挡板固定连接,所述第二挡板和第一挡板的内部均设置有毛刷,且毛刷设置有若干个,六个所述辊轴的下方设置有收集机构,所述第二挡板的一侧设置有电机。 |
