光波导放大器及其制作方法
基本信息
| 申请号 | CN202111520608.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114221204A | 公开（公告）日 | 2022-03-22 |
| 申请公布号 | CN114221204A | 申请公布日 | 2022-03-22 |
| 分类号 | H01S3/067（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 周佩奇;肖希;王磊 | 申请（专利权）人 | 武汉邮电科学研究院有限公司 |
| 代理机构 | 北京派特恩知识产权代理有限公司 | 代理人 | 徐雯;蒋雅洁 |
| 地址 | 430074湖北省武汉市东湖新技术开发区关山街邮科院路88号1幢1-3层 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本公开实施例公开了一种光波导放大器及其制作方法，所述光波导放大器包括：衬底；位于所述衬底上、且沿平行于所述衬底的第一方向并列排布的至少两个光波导；其中，相邻的两个所述光波导之间具有间隙；位于所述间隙内的、掺杂稀土元素的掺杂介质层；其中，在垂直于所述衬底的第二方向上，所述掺杂介质层的高度大于或者等于所述光波导的高度；所述掺杂介质层的折射率小于所述光波导的折射率；石墨烯层，覆盖并接触所述掺杂介质层；第一电极，与所述石墨烯层电连接；第二电极，与所述衬底接触。 |
