在不同晶向下均具有垂直磁各向异性的柔性自支撑钙钛矿氧化物单晶薄膜及其制备
基本信息
| 申请号 | CN202110586628.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113322511B | 公开（公告）日 | 2022-07-01 |
| 申请公布号 | CN113322511B | 申请公布日 | 2022-07-01 |
| 分类号 | C30B23/02（2006.01）I;C30B29/22（2006.01）I;C23C14/08（2006.01）I;C23C14/28（2006.01）I;C23C14/58（2006.01）I;CN 112047298 A,2020.12.08;CN 111270306 A,2020.06.12;CN 111733452 A,2020.10.02;CN 108517555 A,2018.09.11;US 2004238866 A1,2004.12.02 Li, Zengjie等.Atomic Layer and Interfacial Oxygen Defect Tailored Magnetic Anisotropy and Dzyaloshinskii-Moriya Interaction in Perovskite SrRuO3/SrTiO3 Heterostructures.《ACS APPLIED ELECTRONIC MATERIALS》.2020,第2卷（第8期）, | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
| 发明人 | 闻利杰;杨永杰;芦增星;汪志明;郝险峰;郭媛媛 | 申请（专利权）人 | 辽宁科技大学 |
| 代理机构 | 杭州天勤知识产权代理有限公司 | 代理人 | - |
| 地址 | 315201浙江省宁波市镇海区中官西路1219号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种在不同晶向下均具有垂直磁各向异性的柔性自支撑钙钛矿氧化物单晶薄膜及其制备方法，包括：在晶向为[001]、[110]或[111]的衬底上依次制备可溶性牺牲层薄膜、SrRuO3单晶薄膜和柔性材料，然后溶解掉可溶性牺牲层薄膜进行柔性转移，得到在不同晶向下均具有垂直磁各向异性的柔性自支撑钙钛矿氧化物单晶薄膜。该方法为堆垛制备出不同晶向、且具有垂直磁各向异性的柔性氧化物异质结构，提供了一种可行的方法，对柔性钙钛矿氧化物薄膜在器件上的应用有着重要的意义。 |
