一种基于绝缘基底的石墨烯制备方法
基本信息
| 申请号 | CN201710283437.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN107032331B | 公开（公告）日 | 2019-06-21 |
| 申请公布号 | CN107032331B | 申请公布日 | 2019-06-21 |
| 分类号 | C01B32/188（2017.01）I | 分类 | 无机化学; |
| 发明人 | 卓其奇; 张一萍 | 申请（专利权）人 | 盐城易动科技服务有限公司 |
| 代理机构 | 南京经纬专利商标代理有限公司 | 代理人 | 江苏科技大学;盐城易动科技服务有限公司;盐城市盐南高新区西伏河数字智能产业发展有限公司 |
| 地址 | 212003 江苏省镇江市梦溪路2号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供了一种基于绝缘基底的石墨烯制备方法。首先将氧化石墨烯水溶液悬涂到亲水化处理后的绝缘基底上，然后将两片石英片沿着绝缘基底边缘平行放置，中间空隙作为石墨烯生长区域，再将铜箔盖在石英片上方后一并放入到管式炉中。通入高纯氩气、氢气和甲烷，利用氧化石墨烯、铜箔和甲烷分别作为石墨烯生长的种子、催化剂和碳源，在绝缘基底上以氧化石墨烯为中心直接生长出石墨烯。本发明省去化学气相沉积法中聚合物悬涂、金属催化剂刻蚀和聚合物溶解等步骤，简化工艺，减少缺陷产生。同时该方法通过压力及气体流量的调节，可以在绝缘基底上可控生长出不同尺寸和不同形貌的石墨烯，满足不同领域的需求。 |
