一种柔性压力传感器及其制备方法
基本信息
| 申请号 | CN201610953914.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN106441646B | 公开（公告）日 | 2019-05-21 |
| 申请公布号 | CN106441646B | 申请公布日 | 2019-05-21 |
| 分类号 | G01L1/18（2006.01）I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 刘瑞; 袁妍妍; 王小京 | 申请（专利权）人 | 盐城易动科技服务有限公司 |
| 代理机构 | 南京经纬专利商标代理有限公司 | 代理人 | 江苏科技大学;盐城易动科技服务有限公司;盐城市盐南高新区西伏河数字智能产业发展有限公司 |
| 地址 | 224000 江苏省盐城市盐南高新区新跃路26号大数据产业园南区1号楼4楼北区（CNK） | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供一种柔性压力传感器，包括柔性衬底、柔性上盖和间隔设置在所述柔性衬底和所述柔性上盖之间的电极，所述电极之间设置包含有半导体电阻和导电沟道的电路。本发明由于采用微纳米加工技术结合现代印刷电子技术，可在纯柔性衬底上实现惠斯通电桥式压力传感器的构建，避免传统半导体工艺制备硬质衬底(如硅)压力传感器的工艺流程复杂、高温工艺影响大等方面的缺陷，实现柔性传感器的一体化制备。通过采用微纳米加工技术、现代印刷电子技术、纳米碳材料和聚合物材料等相结合，在柔性衬底上制备具有惠斯通电桥结构式的柔性压力传感器，其制备工艺简单、成本较低、性能良好、适于规模化生产。 |
